Оптимизация глубинного разрешения в экспериментах с применением РОР/К
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Обсуждаются возможности и эффективность оптимизации геометрии опытов, применения электростатических анализаторов в повышении глубинного разрешения при использовании резерфордовского обратного рассеяния ионов в сочетании с их каналированием. Показано, что в экспериментах с оптимизированной геометрией и применением ЭСА достижимы Δx=3...5 и 0,5...1 нм.
Description
Keywords
БГПУ, глубинное разрешение, оптимизация, резерфордовское обратное рассеяние ионов, каналирование ионов, электростатический анализатор