ОПРЕДЕЛЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНЫХ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

Abstract

Несмотря на достижения в области применения сканирующей зондовой микроскопии, остается много нерешенных проблем, т. к. при использовании данного метода исследователи сталкиваются с вопросами сравнительной характеристики получаемых данных локальных механических свойств материалов, оценки их распределения не только по исследуемой поверхности, но и по глубине объекта. Актуальным является количественное описание механических свойств двухслойных материалов нанометровой толщины на основании данных статической силовой спектроскопии.