Элементный состав,топография и смачиваемость поверхности графита,модифицированного ионно-ассистированным осаждением хромовых покрытий

Abstract

С применением методов резерфордовского обратного рассеяния, атомно-силовой микроскопии и измерения краевого угла смачивания изучены элементный состав, шероховатость и смачиваемость поверхности графита,модифицированного ионно-ассистированным нанесением Cr-покрытий толщиной ~300÷1000 нм. Установлено,что в состав покрытий кроме атомов хрома входят водород, углерод и кислород из остаточных газов вакуумной камеры (из-за неполной их откачки вакуумными насосами) и 1–2 ат. % кремния, диффундирующего из графита.Определено, что с ростом толщины покрытия увеличивается шероховатость поверхности модифицированного графита, которая становится преобладающим фактором в повышении ее гидрофобности