Методические аспекты изучения поверхности тонких пленок алюминия и его сплавов, осажденных на стекло при ионном ассистировании

Abstract

В работе выявлено состояние изучения морфологии и свойств поверхности пленок алюминия и его сплавов, формируемых при гиперскоростных методах осаждения на подложку; определены, описаны и апробированы основные методы изучения характеристик поверхности тонких пленок; рассчитаны плотность энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений, и температурные характеристики процесса осаждения пленок. Элементы научной новизны: обоснованы научные подходы и современные методы изучения тонких пленок алюминия и его сплавов, осажденных на стекло при ионном ассистировании.