Модификация свойств поверхности графита и кремния ионно-ассистированным осаждением металлсодержащих покрытий
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
БГУ, Минск
Abstract
Впервые установлено влияние процессов осаждения металлсодержащих покрытий на основе Ti, Cr, Со, Zr, Мо при осаждении на кремний и Cr на графит при ионном ассистировании в условиях самооблучения на топографию поверхности формируемых структур покрытие/подложка и равновесный краевой угол смачивания, нанотвердость.
Description
Keywords
БГПУ, ионно-ассистированное нанесение покрытий, состав покрытий, металлсодержащее покрытие, кремний, графит, краевой угол смачивания, шероховатость, толщина покрытия, нанотвердость, автореферат