Просмотр собрания по группе - Темы диффузионные процессы при нанесении покрытий
Отображение результатов 1 до 1 из 1
| Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
|---|---|---|
| 2010 | Влияние облучения ионами Хе+ на диффузионные процессы в кремнии при ионно-ассистированном осаждении покрытий | Михалкович, Олег Михайлович; Ташлыков, Игорь Серафимович |