Просмотр собрания по группе - Темы влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения
Отображение результатов 1 до 1 из 1
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2014 | Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур | Ташлыков, Игорь Серафимович; Бобрович, О. Г.; Тульев, Валентин Валентинович |