Deformation mechanism maps and gettering diagrams for single-crystal silicon
Loading...
Files
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Рассмотрены уравнения для скоростей пластической деформации монокристалла, построены диаграммы механизмов деформации кремния, разработаны диаграммы геттерирования
Description
Keywords
механизмы деформации, кремний, геттерирование, диффузия, пластичность