Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении (Co,Zr,W)покрытий в условиях ионного ассистирования
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Представлено распределение элементов в покрытии нанесенном на пластины Si при комнатной температуре ,а также дефектообразования в кристаллах кремния при нанесении металлического покрытия в условиях ионного ассистирования
Description
Keywords
БГПУ, кремний, элементный состав, структура поверхности