Композиционный состав Ti и Мо покрытий, осаждаемых на эластомер в условиях облучения собственными ионами

Abstract

Метод ионно-ассистированного осаждения покрытий применен для модифицирования адгезионных и антифрикционных свойств резины. Для изучения состава исходной и модифицированной осаждением покрытий на основе Мо и Ti резины использовали метод резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия. Послойный анализ состава покрытий проводили с помощью моделирования экспериментальных спектров обратного рассеяния по программе RUMP.